Teile und Verschmutzungen · 4 Min. Lesezeit · Aktualisiert am 30.09.2026

Sensoren und mikroelektronische Teile mit Ultraschall reinigen

Sensorgehäuse, Fühler, optische Fenster und Sensorelemente vor der Montage: was Ultraschall gut reinigt und welche Sensortypen nie ins Bad dürfen.

Technischer Ratgeber. Die Zahlen stammen aus unseren eigenen Datentabellen; für Ihren Prozess bestätigen wir die Einstellungen mit einem Reinigungsversuch.

Kleine Sensorplatine mit Rückständen um die Widerstände neben dem Controller

Ein Sensor misst durch eine Oberfläche hindurch: eine Membran, ein Fenster, eine Schutzhülse oder eine Elektrode. Alles, was auf dieser Oberfläche liegt, wird Teil der Messung. Ein Ölfilm auf einer Druckmembran verschiebt ihr Ansprechverhalten, ein Fingerabdruck auf einem optischen Fenster streut Licht, ein Partikel im Spalt zwischen Elektroden verändert eine Kapazität. Ultraschallreinigung ist ein gutes Mittel, um diese Oberflächen vor der Montage sauber zu bekommen. Sie ist auch ein gutes Mittel, um manche Sensoren zu zerstören; die erste Frage ist deshalb immer, um welches Teil es sich handelt.

Zwei Gruppen: Teile und fertige Sensoren

Die Sensorreinigung teilt sich in zwei Gruppen, die unterschiedliche Antworten brauchen.

Teile, bevor der Sensor existiert: Gehäuse, Schutzhülsen, Fühlerkörper, Anschlussstücke, optische Fenster, Linsen vor der Montage, Elektrodenrohlinge, Keramiksubstrate, Leadframes. Das sind Teile aus Metall, Glas, Keramik oder Kunststoff, und sie lassen sich wie andere Präzisionsteile mit sanften Einstellungen reinigen.

Fertige Sensoren und bestückte Sensormodule: Sie tragen das Sensorelement, und ob sie ein Bad vertragen, hängt davon ab, wie dieses Element aufgebaut ist. Viele vertragen es nicht.

Was hinein darf

Teil Typische Verschmutzung Einstellung
Schutzhülsen und Schutzrohre aus Edelstahl Bearbeitungsöl, Partikel, Fingerabdrücke Mild alkalischer Reiniger, 50 bis 60 °C, 40 kHz, 3 bis 5 min
Bearbeitete Sensorgehäuse aus Aluminium oder Edelstahl Kühlschmierstoff, Späne, Gratflitter Wie bei CNC-Teilen vor der Montage, dann Spülung in VE-Wasser
Unbeschichtete Fenster aus Glas oder Saphir Fingerabdrücke, Polierrückstände, Staub Neutraler Reiniger oder das Lösemittel des Herstellers im Becherglas, Raumtemperatur bis 40 °C, 1 bis 3 min
Keramiksubstrate vor der Montage Partikel, Handhabungsrückstände Neutraler Reiniger, 40 kHz, kurzer Zyklus, Spülung in VE-Wasser
Abgedichtete, vergossene Sensoren (zum Beispiel Mantelthermoelemente und Widerstandsthermometer) Prozessrückstände nach dem Einsatz Chemie, die zu Mantel und Dichtung passt, kurzer Zyklus; Herstelleranleitung beachten

Beschichtete optische Teile (Entspiegelung, Filter, Spiegel) werden nur mit dem Verfahren und der Chemie gereinigt, die der Hersteller der Beschichtung freigibt. Manche Beschichtungen sind weich und lösen sich unter Kavitation ab. Linsen, die in eine Fassung gekittet oder geklebt sind, werden nur gereinigt, wenn der Klebstoff für Flüssigkeit und Temperatur freigegeben ist.

Für kleine Teile und Optiken ist meist das indirekte Verfahren richtig: Die Teile liegen in einem Becherglas mit eigener Flüssigkeit, das Becherglas steht im wassergefüllten Becken. Das Hauptbad bleibt sauber, eine kleine Menge teurer Flüssigkeit leistet die Arbeit, und ein Lösemittel kommt nie mit dem beheizten Becken in Berührung.

Was nie hinein darf

Diese Sensortypen haben offene, bewegliche oder schwingende Strukturen oder Öffnungen, durch die Flüssigkeit an das Element gelangt. Halten Sie sie vollständig aus dem Bad heraus.

Sensortyp Warum
MEMS-Beschleunigungssensoren und -Gyroskope Freitragende Siliziumstrukturen können zur Resonanz angeregt werden, brechen oder am Substrat kleben bleiben
MEMS-Mikrofone Offene Schallöffnung; die Membran ist wenige Mikrometer dick
Drucksensoren mit offenem Anschluss oder gelgefülltem Hohlraum Flüssigkeit im Hohlraum, Schaden an Membran oder Gel
Feuchte- und Gassensoren Offene Sensorschichten und Membranen; die Flüssigkeit vergiftet oder verschiebt das Element
Sensoren mit Belüftungsmembran Die Membran wird undicht, wenn sie unter Kavitation benetzt wird
Quarzresonatoren und Stimmgabelquarze Die schwingende Struktur kann angeregt werden und brechen; viele Datenblätter verbieten Ultraschallreinigung
Ungehäuste Chips mit Bonddrähten Kavitation kann feine Bonddrähte ermüden
Jedes Teil, das der Hersteller mit „keine Ultraschallreinigung“ kennzeichnet Die Kennzeichnung ist die Antwort

Der Risikoleitfaden für Präzisionselektronik behandelt diese Grenzen ausführlicher, auch wie Sie ein Teil qualifizieren, das nicht aufgeführt ist. Sitzt ein solcher Sensor auf einer Leiterplatte, die gereinigt werden muss, wird er nach der Reinigung bestückt, abgedeckt, oder die Leiterplatte wird von Hand gereinigt.

Einstellungen für Sensorteile

  • Frequenz: 40 kHz, oder 80 kHz an der MT-75 für die empfindlichsten Teile und die feinsten Partikel; siehe Partikelgröße und Frequenz.
  • Leistung: reduziert, wo die Anlage es erlaubt. Ein kleines Tischgerät hat bauartbedingt eine hohe Leistungsdichte; halten Sie die Zyklen kurz.
  • Temperatur: Raumtemperatur bis 55 °C, unterhalb der Grenze jedes Kunststoffs oder Klebstoffs im Teil.
  • Zeit: 1 bis 5 Minuten. Ergebnis prüfen, dann bei Bedarf verlängern.
  • Halterung: Teile in einem Korb, Becherglas oder einer Vorrichtung, nie auf dem Beckenboden, ohne sich gegenseitig zu berühren.
  • Spülen: VE-Wasser. Ionische Rückstände auf einem Sensorelement können Messwerte verschieben und Elektroden korrodieren.
  • Trocknen: warme, gefilterte Luft, die Teile so ausgerichtet, dass jeder Hohlraum abläuft; siehe Spülen und Trocknen.

Sauberkeit, auf die es bei Sensoren ankommt

Bei optischen Teilen erfolgt die Prüfung visuell: Eine Dunkelfeldleuchte oder ein Mikroskop zeigt Filme und Partikel. Für Sensorgehäuse und Fühlerteile, die in eine Baugruppe gehen, kommen die Partikelgrenzwerte aus der Produktspezifikation und werden wie bei anderen Komponenten geprüft; siehe elektronische Teile vor der Montage reinigen. Saubere Teile kommen direkt in abgedeckte Schalen und werden mit Handschuhen angefasst.

Staub und Rückstände zwischen den Pins eines Chips, mit Prüfspitze
Staub und Rückstände zwischen Fine-Pitch-Pins, wo Leckströme beginnen

Welche Anlage

Arbeit Ausstattung
Optiken, Fenster und kleine Sensorteile STS-030 (3 L) bis STS-090 (9 L), 40 kHz, Bechergläser im indirekten Verfahren
Schutzhülsen, Gehäuse, Chargenbetrieb STS-150 bis STS-300 oder UMX Pro 50L mit 40 kHz, Spülung in VE-Wasser, Warmlufttrocknung
Präzisionsteile, Waschen, Spülen und Trocknen in einem Gestell MT-75, 75 L, 40/80 kHz

Die Branchenseite Elektronik fasst die zugehörigen Beiträge zusammen.

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